Proces, ktorý využíva urýchlené ióny preniknúť pevný podklad. Implantáciu iónov môže byť použité na úpravu povrchu zloženie, štruktúru alebo majetku z pevného materiálu. Táto povrchová úprava závisí od ion druhov energie a toku. Prenikaniu hĺbky môže byť riadený úpravou iónová energia a druh ióny používa. Celkový počet iónov začlenené do tuhej býčej Flux Generátor iónov a trvanie implantácie. Táto technika umožňuje presné umiestnenie iónov v pevnej pri nízkych teplotách. Sa používa pre mnoho aplikácií, napríklad úpravou elektrických vlastností polovodičov a zlepšenie mechanické alebo chemické vlastnosti zliatin, kovy a dielektrika.